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| Rank | Population Density ▼ | County / Population |
| 1. | 3,197.7/sq mi | Cook, IL / 5,227,827 |
| 2. | 2,754.0/sq mi | Dupage, IL / 926,485 |
| 3. | 995.6/sq mi | Kane, IL / 521,874 |
| 4. | 803.2/sq mi | Will, IL / 682,108 |
| 5. | 562.4/sq mi | Winnebago, IL / 292,026 |
| 6. | 513.8/sq mi | Lake, IL / 703,170 |
| 7. | 504.1/sq mi | Mchenry, IL / 307,888 |
| 8. | 398.2/sq mi | Saint Clair, IL / 268,415 |
| 9. | 366.7/sq mi | Kendall, IL / 118,194 |
| 10. | 361.8/sq mi | Madison, IL / 267,937 |
| 11. | 325.7/sq mi | Rock Island, IL / 146,964 |
| 12. | 296.9/sq mi | Peoria, IL / 187,197 |
| 13. | 226.7/sq mi | Sangamon, IL / 198,808 |
| 14. | 206.5/sq mi | Tazewell, IL / 135,872 |
| 15. | 204.5/sq mi | Champaign, IL / 204,214 |
| 16. | 191.5/sq mi | Boone, IL / 54,005 |
| 17. | 187.5/sq mi | Macon, IL / 109,833 |
| 18. | 165.4/sq mi | Kankakee, IL / 112,682 |
| 19. | 165.3/sq mi | Dekalb, IL / 104,919 |
| 20. | 150.3/sq mi | Williamson, IL / 66,808 |
| 21. | 145.3/sq mi | Mclean, IL / 172,390 |
| 22. | 116.6/sq mi | Grundy, IL / 50,173 |
| 23. | 105.2/sq mi | Coles, IL / 53,655 |
| 24. | 99.8/sq mi | Jackson, IL / 60,125 |
| 25. | 98.2/sq mi | La Salle, IL / 112,698 |
| 26. | 92.2/sq mi | Franklin, IL / 39,774 |
| 27. | 89.6/sq mi | Vermilion, IL / 80,773 |
| 28. | 83.8/sq mi | Monroe, IL / 33,373 |
| 29. | 83.3/sq mi | Stephenson, IL / 47,053 |
| 30. | 82.8/sq mi | Whiteside, IL / 57,680 |
| 31. | 77.0/sq mi | Adams, IL / 67,113 |
| 32. | 75.4/sq mi | Clinton, IL / 37,952 |
| 33. | 72.9/sq mi | Knox, IL / 52,447 |
| 34. | 71.8/sq mi | Woodford, IL / 38,965 |
| 35. | 71.4/sq mi | Effingham, IL / 34,280 |
| 36. | 69.2/sq mi | Ogle, IL / 52,782 |
| 37. | 67.6/sq mi | Marion, IL / 38,922 |
| 38. | 66.3/sq mi | Jefferson, IL / 38,716 |
| 39. | 64.3/sq mi | Saline, IL / 24,876 |
| 40. | 62.6/sq mi | Massac, IL / 15,148 |
| 41. | 61.6/sq mi | Morgan, IL / 35,272 |
| 42. | 60.6/sq mi | Henry, IL / 50,031 |
| 43. | 60.3/sq mi | Jersey, IL / 22,751 |
| 44. | 55.4/sq mi | Randolph, IL / 33,091 |
| 45. | 54.9/sq mi | Mcdonough, IL / 32,388 |
| 46. | 54.4/sq mi | Macoupin, IL / 47,229 |
| 47. | 51.6/sq mi | Wabash, IL / 11,730 |
| 48. | 49.3/sq mi | Perry, IL / 22,034 |
| 49. | 48.5/sq mi | Logan, IL / 30,047 |
| 50. | 48.4/sq mi | Lee, IL / 35,248 |
| 51. | 48.1/sq mi | Christian, IL / 34,415 |
| 52. | 47.6/sq mi | Douglas, IL / 19,867 |
| 53. | 45.9/sq mi | Bond, IL / 17,571 |
| 54. | 44.7/sq mi | Lawrence, IL / 16,726 |
| 55. | 44.6/sq mi | Richland, IL / 16,144 |
| 56. | 44.0/sq mi | Crawford, IL / 19,626 |
| 57. | 43.2/sq mi | Moultrie, IL / 14,896 |
| 58. | 41.9/sq mi | Montgomery, IL / 29,740 |
| 59. | 41.7/sq mi | Union, IL / 17,620 |
| 60. | 41.5/sq mi | Fulton, IL / 36,616 |
| 61. | 40.6/sq mi | Dewitt, IL / 16,461 |
| 62. | 40.1/sq mi | Menard, IL / 12,658 |
| 63. | 39.3/sq mi | Bureau, IL / 34,361 |
| 64. | 37.7/sq mi | Piatt, IL / 16,552 |
| 65. | 36.8/sq mi | Livingston, IL / 38,476 |
| 66. | 36.3/sq mi | Johnson, IL / 12,650 |
| 67. | 36.2/sq mi | Jo Daviess, IL / 22,427 |
| 68. | 35.0/sq mi | Cass, IL / 13,440 |
| 69. | 34.2/sq mi | Putnam, IL / 5,895 |
| 70. | 32.7/sq mi | Warren, IL / 17,784 |
| 71. | 32.2/sq mi | Carroll, IL / 15,027 |
| 72. | 32.2/sq mi | Clark, IL / 16,240 |
| 73. | 31.6/sq mi | Cumberland, IL / 10,950 |
| 74. | 31.0/sq mi | Alexander, IL / 7,821 |
| 75. | 30.9/sq mi | Marshall, IL / 12,319 |
| 76. | 30.4/sq mi | Fayette, IL / 22,041 |
| 77. | 30.0/sq mi | Edwards, IL / 6,687 |
| 78. | 29.4/sq mi | Pulaski, IL / 5,967 |
| 79. | 29.1/sq mi | Clay, IL / 13,675 |
| 80. | 29.1/sq mi | Edgar, IL / 18,171 |
| 81. | 29.0/sq mi | White, IL / 14,549 |
| 82. | 28.9/sq mi | Shelby, IL / 22,216 |
| 83. | 28.6/sq mi | Ford, IL / 13,906 |
| 84. | 28.5/sq mi | Mercer, IL / 16,204 |
| 85. | 26.2/sq mi | Iroquois, IL / 29,272 |
| 86. | 25.8/sq mi | Washington, IL / 14,527 |
| 87. | 25.4/sq mi | Mason, IL / 14,309 |
| 88. | 25.0/sq mi | Greene, IL / 13,677 |
| 89. | 23.3/sq mi | Hardin, IL / 4,226 |
| 90. | 23.2/sq mi | Wayne, IL / 16,627 |
| 91. | 23.1/sq mi | Hancock, IL / 18,808 |
| 92. | 22.4/sq mi | Brown, IL / 6,878 |
| 93. | 20.8/sq mi | Scott, IL / 5,260 |
| 94. | 20.4/sq mi | Stark, IL / 5,888 |
| 95. | 19.4/sq mi | Jasper, IL / 9,658 |
| 96. | 19.2/sq mi | Hamilton, IL / 8,371 |
| 97. | 19.1/sq mi | Pike, IL / 16,244 |
| 98. | 17.9/sq mi | Henderson, IL / 7,074 |
| 99. | 17.7/sq mi | Calhoun, IL / 5,033 |
| 100. | 16.9/sq mi | Schuyler, IL / 7,454 |
| 101. | 16.6/sq mi | Gallatin, IL / 5,439 |
| 102. | 11.7/sq mi | Pope, IL / 4,362 |
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